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正宇真空設(shè)備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
溫度對真空測量 的色直空規(guī)管實(shí)際使用溫度與出廠校準(zhǔn)溫度不相同,規(guī)管溫度與被測系統(tǒng)溫度不同,被測系 溫度不均勻或變化,均會引起被測系統(tǒng)中氣體溫度變化,影響真空測量結(jié)果,引進(jìn)測量誤差 至發(fā)生明顯錯誤。設(shè)規(guī)管出廠校準(zhǔn)時的溫度為T。(一般為293K),規(guī)管現(xiàn)場使用溫度為T1 (單位為K),規(guī)管的讀數(shù)壓力值為pm(單位為Pa),對應(yīng)氣體的真實(shí)壓力和氣體分子數(shù)密度 分別為戶和m(單位為m-3),此時被測真空系統(tǒng)中的溫度為T2,氣體壓力和分子密度為p 和n。在不同的壓力范圍內(nèi),可以按以下公式進(jìn)行修正。 (1)高壓力(A<d)時,系統(tǒng)平衡條件是各處壓力相等,即
(10-45 采用直接測壓力的直接測量真空計(jì)時,規(guī)管溫度、被測系統(tǒng)溫度及規(guī)管校準(zhǔn)溫度各不相同 不引起誤差,p1=Pm,不需要修正。而采用測密度的間接測量真空計(jì)(熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離 必須修正到校準(zhǔn)溫度。 真空計(jì))測
(10-46) (2)低壓力(X>d)時,系統(tǒng)平衡時兩處的壓力和密度都不相等,而是
p 用測壓力的直接測量真空計(jì)測量時,p=pm,并按上式進(jìn)行修正。用測密度的間接測量
10-47) 真空計(jì)測量時,則要修正到標(biāo)準(zhǔn)溫度,此時有
TPm和P2
(10-48) (3)中等壓力~d時,p/Pp2的值處于1和√T1/T2值之間。壓力愈低,會近
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